ES640 系列充电器件模型测试系统
主要特征
特征
• 高分辨率摄像头（最多 3 个），便于进行引脚对准操作
• 高分辨率运动控制系统（步进精度低至 1 µm 以下）
• 支持晶圆级器件测试
• 支持批量测试多个器件
• 支持选配专利待审的 RP-CCDM 方法，提供更好的重复性
• 密闭腔设计提高了干燥单元的效率
• 支持空气循环干燥单元（成本低于氮气）
• 无最大引脚数量限制
ES640 系列充电器件模型测试系统
产品概述
技术指标
产品规格参数
ES640 充电器件模型 (CDM) 测试系统是一款自动化 CDM 测试系统，旨在满足所有主流的 CDM测试方法，同时支持场感应空气放电方法 (FICDM) 和接触放电方法 (CCDM)。该系统包括计算
机、环境可控测试腔、精密 XYZ 运动系统、不同类型的 CDM 测试装置以及自动化测试和数据
分析软件。
充电器件模型 (CDM) 静电放电是微电子电路失效的常见原因。敏感的器件可能在相对较低的 电压下因 CDM 放电而严重损坏或毁坏。这种情况通常会在带静电的器件接触到不同电位的金 属表面时发生，此类静电放电通常具有极快的上升时间。
应用
• 适用于封装和晶圆级测试的通用充电器件模型 (CDM) 系统
• 支持多种主流的最新 CDM 方法：
✓ ANSI/ESDA/JEDEC JS-002 (FICDM)
✓ AEC Q100-011 Rev-D (2019 版遵循 JS-002)
✓ AEC Q101-005 Rev-A (2019 版遵循 JS-002)
✓ ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM, 需要 VF-TLP)
✓ CC-TLP (ESDA SP 待发布, 需要 VF-TLP)
✓ 专利待审的 RP-CCDM 方法
✓ 可根据要求提供传统及定制解决方案
• 可定制尺寸，用于自动化 CBM（充电板模型）和平板测试