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TS200-DP
主要特征

1、专为高功率设计的chuck,chuck有非高温和高温可选,支持常温到300℃测试

2、支持薄片 wafer、taiko wafer

3、Platen ArcShield™,防止电弧产生

4、专为高压设计,高达10KV / 600A

5、应用:RF、mmW、器件特性测试、晶圆级可靠性验证、高功率测试、失效分析、集成电路工程及微机电系统

6、气浮轴承台搭配控制手柄,实现单手快速操作

7、提供多种吸盘选件及丰富配件,如直流/射频/毫米波微定位器、显微镜及电磁屏蔽暗箱


TS200-DP
产品概述
产品规格参数

200mm手动探针系统,用于精确可靠的直流/电容电压、射频及高功率测量


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