TS3000-HP
主要特征
1、专为大功率设计的Chuck，晶圆级高功率器件测量能力达10kV/600A
2、高低温和非高温Chuck
3、支持taiko wafer
4、ShielDEnvironment™，先进EMI/RFI/全光屏蔽设计，具备fA级超低漏电性能，温度范围-60°C至300°C
5、Platen ArcShield™，防电弧设计
6、MPI’s SENTIO® 测试软件
7、安全光幕防护
