系统设备组成：半导体参数分析仪/示波器/信号源+MPI 手动/半自动探针台+中科睿华自动化测试软件
系统主要功能：可自定义输出波形，直流和任意波形以及CV的在片测试方案。
主要指标：直流电压200V，直流电流1A，脉冲电压40V, 脉冲电流100mA,最小脉冲宽度：16ns，-60~300℃测试环境。
