搭载 Keysight B1500 半导体参数分析仪与 MPI 探针台，实现fA 级漏电检测，精度超越行业平均水平 3 个数量级。适用于第三代半导体材料缺陷分析、量子器件性能验证等前沿领域。测试精度远超常规实验室水平，为器件可靠性评估提供数据支撑。
