1、一体化设备：单机可采集高精度IV、CV、脉冲IV
高速波形和瞬态IV采样及1/f噪声
2、功能强大：宽电压电流输出范围、高精度
支持高速采样时域信号采集和任意线性波形生成
3、广受认可：被众多科研院所、芯片设计公司和代工厂、IDM公司釆用，目前已有国内外百余家客户
4、模块化架构：支持灵活、可扩展的测试配置
5、简单易用：内置专业LabExpress测量控制分析软件无需复杂编程可实现数据测量设置、执行和数据分析
6、可用作9812DX内部SMU模块：可用作981X系列内部SMU模块无缝集成 9812D/DX 系统及其 NoiseProPlus 软件，可提高噪声测试速度
7、应用：半导体器件电性测量
光电器件和微机械系统测试
类脑突触器件，忆阻器等测试
新型半导体材料与器件测试
半导体器件超低频噪声领域测试
半导体器件可靠性测试
半导体器件超短脉冲测试
FS-Pro半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备。
采用工业通用的PXI模块化硬件结构，配合自主开发的测试软件LabExpress，FS-Pro在半导体工业产线测试与科研应用方面都具有优秀的性能表现，可广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试等。
1、在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、高速波形发生与釆集以及低频噪声测试能力，几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。
2、全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦9812系列噪声测试系统无缝集成。
3、釆用工业通用的PXI模块化硬件架构，系统配置灵活，扩展性强。
4、内置专业测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能。
5、LabExpress软件同时支持自动化量测和并行量测，可进一步提升测试效率。
6、广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域。
硬件规格
宽量程： 200V 电压，1A 直流电流
高精度：30fA 精度，0.1fA 灵敏度
噪声测试带宽： 高精度最高 100kHz，超低频最高 40Hz
噪声测试速度：<10s>
内置脉冲测试：200V 电压，3A 脉冲电流，最小 50us 脉宽
内置 CV 测试：200V/10kHz, 最低可测至 l00fF
外置 CV 测试模块： 40V/2MHz（高精度型）
40V/5MHz（高带宽型）
40V/10MHz（高带宽型）
高速时域信号采集： 最小采样时间 < 1us，10 万点数据
噪声测试最小阻抗： 500Ω
噪声测试分辨能力： 最低 1e-28A2/Hz
噪声测试频率：1Hz-100KHz（加选项低频可到1mHz）
高精度快速波形发生与测量套件：2 通道，SMA 接口
快速 IV 测试：±10V 电压，最大 10mA 电流
SMU 直通：±25V 电压输入，最大 100mA 电流
100MSa/s 采样率，最小推荐脉冲宽度可达 130ns
软件功能
FS-Pro 系列内置LabExpress测量软件具有强大的测试和分 析功能，该软件提供友好的图形化用户使用界面和灵活的设 定，具有下列主要功能：
完整支持直流、脉冲、瞬态、电容、噪声测试、任意波形 发生与测量功能
支持长程Stress测试，和HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp， J-Ramp）可靠性测试
内置的常见器件测试预设可大大提高测试设置效率，帮助 新手操作者快速完成测试
强大的自定义设定功能可以灵活编辑电信号
内置强大数据处理能力可测试后直接展幵器件特性分析多种数据保存方式，导出数据可供用户后续分析研究也可直 接导入建模软件BSIMProPlus和MeQLab进行模型提取和特性分析
LabExpress 专业版支持对主流探针台和矩阵幵关设备的控制，支持晶圆映射、并行测试实现自动测试功能，进—步提升测试效率
